一、主要技術指標
1.被測件長度：150mm
2.工作臺行程：5 mm
3.測桿移動范圍：0.5mm
4.分劃板刻度范圍：±50格
5.直接測量范圍：5-20μm
6.分度值調(diào)整范圍：0.05-0.2 μx
7.推薦使用分度值：0.1 μm
8.測量壓力：(1.5±0.1) N
9.儀器示值穩(wěn)定性：0.02 μm
10.儀器誤差：數(shù)字顯示
11.測量誤差：
n 是格數(shù), i是格值,λ是濾光片中心波長，△λ是濾光片波長誤差
12.儀器體積：280*500*700 mm
13.儀器重量：40 kg

二、標準配件
1.五筋園臺
2.九筋瑪瑙臺
3.可調(diào)園平臺
4.輔助臺
5.平面測帽
6.小球面測帽
7.干涉濾光片